Mahsulotning asosiy jihati: Yarimo'tkazgichli gofretni tavlash uchun lazerli isitish

Plitalarni tavlash yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda muhim jarayon bo'lib, qo'shimcha moddalarni faollashtirish, panjaralarni tiklash va ultra sayoz birikma (USJ) hosil bo'lishini o'z ichiga oladi. An'anaviy pechda tavlash va tez termik ishlov berish (RTP) yuqori issiqlik byudjetlari, qo'shimcha moddalarning yomon boshqariladigan diffuziyasi va yetarlicha bir xillikdan aziyat chekadi, bu esa ularni 7 nm, 5 nm va undan yuqori darajadagi ilg'or texnologik tugunlar, xususan, Gate-All-Around (GAA) arxitekturalari va 3D NAND flesh-xotirasi uchun yetarli emas qiladi. Vaqtinchalik yuqori energiyali nurlanish, mikron miqyosidagi fazoviy aniqlik va minimal termik diffuziya bilan lazer asosidagi plastina tavlash ushbu talabchan ishlab chiqarish talablarini qondirish uchun keyingi avlod asosiy jarayon sifatida paydo bo'ldi.

Lazerli isitishning asosiy printsipi

Wave Optics lazerli isitish boshi plastina sirtlarini aniq nurlantirish uchun yuqori energiyali, termal jihatdan bir xil lazer nurlarini yetkazib beruvchi patentlangan optik dizaynga ega. Yashil lazer kremniy asosidagi materiallar (shu jumladan SiC) bilan ajoyib yutilish mosligini ta'minlaydi, bu esa plastinaga zarar bermasdan yuqori samarali termal ishlov berish imkonini beradi. Bu ion implantatsiyasi qilingan shikastlangan qatlamning qayta kristallanishini va samarali qo'shimchani faollashtirishni osonlashtiradi. Keyinchalik, substratning yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi panjara tuzilishini muzlatadigan va qo'shimchaning diffuziyasini bostiradigan ultra tez sovutishni ta'minlaydi. Bu jarayon yuqori faollashtirish samaradorligi va tik (keskin) qo'shimcha profilga ega ultra sayoz birikmalarni muvaffaqiyatli hosil qiladi.

Lazerli isitish bilan yumshatish gofretni qayta ishlash samaradorligini oshirish uchun juda muhimdir

1. Nurning bir xilligi: Yassi tepalikdagi nur nuqtasining energiya bir xilligi 95% dan oshadi (odatda), bu mahalliy ortiqcha eritish yoki kam tavlanishni bartaraf etadi.
2. Energiya barqarorligi: Chiqish energiyasining uzluksiz o'zgarishi 2% dan past, bu esa gofretdan gofretga va partiyadan partiyaga mukammal moslikni ta'minlaydi.
3. Sirt shaklining aniqligi: Optik komponentlar nanometr o'lchamidagi PV/RMS qiymatlariga ega bo'lib, yaxshi boshqariladigan to'lqin fronti buzilishiga ega bo'lib, issiq nuqtalarning shikastlanishini oldini oladi.
4. Fokus chuqurligi va nurni shakllantirish: Fokusning sozlanishi chuqurligi nur integratori gomogenizatsiyasi bilan birgalikda katta diametrli plitalarni to'liq maydonda skanerlashni qo'llab-quvvatlaydi.
5. To'lqin uzunligini moslashtirish: Energiyadan foydalanish samaradorligini maksimal darajada oshirish uchun kremniy va uchinchi avlod yarimo'tkazgichlarining (masalan, SiC, GaN) yuqori yutilishli to'lqin polosalari uchun optimallashtirilgan.

An'anaviy tavlashdan uchta asosiy afzallik

1. Qo'shimcha diffuziyasini ajoyib tarzda bostirish - Termal ta'sir qilish nanosekunddan millisekundgacha bo'lgan diapazon bilan cheklangan bo'lib, nolga yaqin qo'shimcha diffuziyaga ega, bu imkoniyatga pechda tavlash yoki RTP orqali erishib bo'lmaydi.

2. Kam issiqlik byudjeti va qurilmaning minimal shikastlanishi - Faqat plastinka yuzasi vaqtinchalik yuqori haroratni boshdan kechiradi, natijada substrat yoki qurilma tuzilmalarining issiqlik deformatsiyasi va sirtlarning degradatsiyasi bo'lmaydi.

3. Aniq tanlangan maydonni yumshatish - Sozlanishi mumkin bo'lgan mikron o'lchamli nurli dog'lar 3D integratsiya va heterojen integratsiyalashgan qurilmalar uchun mahalliy yumshatishni qo'llab-quvvatlaydi.

Ilova stsenariylari

Ilovalar manba/drenajni faollashtirish, kanalni ta'mirlash va ilg'or mantiq (GAA/CFET), DRAM/3D NAND, SiC/GaN quvvat qurilmalari, SOI va mikro/nano qurilmalar uchun ohmik kontaktli tavlashni o'z ichiga oladi. Lazerli tavlash bir vaqtning o'zida hosildorlik va qurilmaning ishlashini yaxshilaydi.

Lazerli tavlash gofretni qayta ishlashni global (yorqin) tavlashdan aniq mahalliy tavlashga o'tkazadi. Uning kuchli optik texnologiyasi ilg'or yarimo'tkazgichli tugunlarning doimiy miqyoslanishi va ishlashdagi yutuqlarini qo'llab-quvvatlaydi.

Mahsulot spetsifikatsiyasi varag'i